該設(shè)備為我司研發(fā)用于薄膜或襯底材料連續(xù)生長(zhǎng)或熱處理專用設(shè)備，該設(shè)備將收放卷機(jī)構(gòu)全部設(shè)計(jì)到真空腔室內(nèi)，確保系統(tǒng)在真空條件下或氣氛條件下完全密封，適用于連續(xù)工藝要求。該設(shè)備設(shè)計(jì)有張力計(jì)，通過(guò)實(shí)時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)收卷軸的速度來(lái)恒定薄膜的線速度，通過(guò)實(shí)時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)放卷軸的電磁離合器來(lái)恒定張力大小。收放卷電機(jī)均采用精密伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，通過(guò)系統(tǒng)程序?qū)崿F(xiàn)全自動(dòng)恒張力恒線速的控制。通過(guò)觸摸屏僅需設(shè)定一個(gè)銅箔（樣品）的厚度和直線速度即可。
技術(shù)特點(diǎn)：
◆10寸觸摸屏工控機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退料、氣體流量、閘門(mén)等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制；
◆設(shè)備兩端設(shè)計(jì)有觀察窗，方便直觀觀察樣品工作狀態(tài)；
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門(mén)管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無(wú)污染（管路均采用EP級(jí)電拋光管），流量控制采用優(yōu)質(zhì)質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制；
◆具有斷電報(bào)警、超溫超壓報(bào)警等多種安全保護(hù)功能；
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長(zhǎng)壽命；
◆進(jìn)出料部件由單獨(dú)的電機(jī)分別調(diào)速，同時(shí)具有收絲牽伸功能；
主要技術(shù)指標(biāo)：
最高溫度： 1200℃
使用溫度： ≤1100℃
爐管直徑： Φ100mm
爐膛材料： 高純氧化鋁纖維
熱電偶類型： K型熱熱偶（五個(gè)點(diǎn)) 。
控溫精度： ±1℃，
工藝曲線： 30段可編程控溫，PID溫度控制程序
溫區(qū)長(zhǎng)度： 五段控溫（300+300+300+300+300mm）
加熱元件： 合金加熱絲
供電電源： 380V，12kw
外形尺寸： 3000*600*1050mm（長(zhǎng)寬高）
氣路控制系統(tǒng)：
氣體流量控制器采用質(zhì)量流量控制器，該控制方式具有控制精度高，穩(wěn)定好，氣體適應(yīng)性強(qiáng)的特點(diǎn)?？梢院艽蟪潭壬咸岣呖刂凭?，提高設(shè)備的重復(fù)性和穩(wěn)定性。
連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。
氣體種類: 1路.
流量計(jì)品牌: SEVEN STAR
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)： N2: 200（具體量程需最終確認(rèn)）
準(zhǔn)確度： ±1.5%
線性： ±0.5～1.5%
重復(fù)精度： ±0.2%
響應(yīng)時(shí)間： 氣特性1～4 Sec，電特性10 Sec
工作壓差范圍： 0.1～0.5 MPa
最大壓力： 3MPa
接口： Φ6,1/4''
顯示： 4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度: 5～45℃
壓力真空表： －0.1～0.15 MPa
3、真空系統(tǒng)
該CVD系統(tǒng)配置優(yōu)質(zhì)機(jī)械泵。冷態(tài)狀態(tài)真空度可達(dá)10-1pa，可以在很短的時(shí)間內(nèi)使系統(tǒng)達(dá)到要求的真空范圍，保證了產(chǎn)品質(zhì)量。密封元件則采用優(yōu)質(zhì)硅橡膠密封材料密封。減少了因密封元件老化而產(chǎn)生的氣密泄漏。 維持爐膛在升溫的過(guò)程中有一個(gè)穩(wěn)定的氣氛環(huán)境。
技術(shù)參數(shù)：
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
功率： 370瓦
抽氣速率： 10m3 /h
極限真空： 4×10-2Pa
實(shí)驗(yàn)真空度：1.0×10-1Pa
容油量： 1.1L
進(jìn)氣口口徑：KF25
排氣口口徑：KF25
轉(zhuǎn)速： 1450rpm
噪音： 50dB