該設(shè)備專為實(shí)驗(yàn)室已有普通管式爐的用戶開發(fā)而成，僅需要用戶提供一下管子高度和直徑即可改造。底部配備可移動(dòng)爐架，方便移動(dòng)和擺放位置。等離子體發(fā)生器的電源功率有100、200、300、500、1000W等功率可選，射頻功率自動(dòng)匹配，僅需一鍵操作即可啟輝。
產(chǎn)品參數(shù)：
射頻電源功率 | ||
1 | 信號(hào)頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
2 | 功率輸出范圍 | 5W-1000W可選 |
3 | 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
4 | 整機(jī)效率 | >=70% |
5 | 功率因數(shù) | >=90% |
6 | 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
真空部分 | ||
1 | 功率 | 300W |
2 | 抽氣速率 | 2Ls |
3 | 極限真空 | 4X10-2Pa |
氣路系統(tǒng) | ||
1 | 3路質(zhì)量流量計(jì)可選 | |
2 | 準(zhǔn)確度：±1.5% | |
3 | 重復(fù)精度：±0.2% | |
4 | 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa | |