該設(shè)備是在簡易型近空間升華爐的基礎(chǔ)上改進(jìn)而來，經(jīng)過與用戶深度合作與測試，歷經(jīng)三次大范圍優(yōu)化，使得該第三代設(shè)備溫區(qū)更長，管徑更大，溫場對稱性更好，散熱更快。源坩堝和襯底總成放置在移動托架上，非常方便取放。
升華距離可通過添加石英墊片隨意調(diào)整高度，上下溫差≥30℃。高配置型號幾乎可以實(shí)現(xiàn)全工藝的一鍵操作，自動升溫控制、自動調(diào)整流量、自動調(diào)整工藝壓力，工藝全程可監(jiān)控。我公司可提供基礎(chǔ)工藝指導(dǎo)！
1. 爐膛開門結(jié)構(gòu)分為前后兩個獨(dú)立單元，上下兩排燈管分別獨(dú)立控溫，加熱結(jié)束后爐膛均可通過按鈕控制或自動分開成兩半，管子暴露在室溫環(huán)境下，底部兩個風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷對其散熱。
2. 主爐體下方分為兩個區(qū)域，分別為電器控制部分和真空部分。電器控制部分內(nèi)有溫控電路和機(jī)械動作控制器等。真空部分包含一臺直聯(lián)旋片式機(jī)械真空泵、數(shù)顯真空計和正壓保護(hù)電路。
3. 可選配真空自動平衡功能，設(shè)定數(shù)值后，腔體內(nèi)的真空度會保持恒定。
4. 可選配質(zhì)量流量計控制，進(jìn)氣大小和進(jìn)氣調(diào)節(jié)均可自動控制。
用戶測試膜厚：
主要用戶：
龍焱能源科技（杭州）有限公司、河北工業(yè)大學(xué)、蘇州大學(xué)、四川大學(xué)
技術(shù)參數(shù)：
序號 | 加熱爐部分 | ||
1 | 爐膛模式 | 前后移動開啟式爐膛 | |
2 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 | |
3 | 加熱元件 | 短紅外波燈管，上下水平面獨(dú)立加熱 | |
4 | 工作溫度 | ≤800℃ | |
5 | 升溫速率 | 10℃/s | |
6 | 樣品大小 | 3英寸 | |
7 | 溫區(qū)長度 | 300mm（恒溫區(qū)100*100mm） | |
8 | 溫度均勻性 | ≤±2℃ | |
9 | 爐管規(guī)格 | Φ150*700mm | |
10 | 控溫精度 | ±1℃ | |
11 | 密封方式 | 快速法蘭密封 | |
12 | 儀表補(bǔ)償 | 室溫自動補(bǔ)償 | |
13 | 溫度曲線 | 12段"時間—溫度曲線"可設(shè)，預(yù)存100條工藝曲線 | |
14 | 外殼溫度 | ≤50℃ | |
15 | 超溫報警 | 有 | |
16 | 過流保護(hù) | 有 | |
17 | 斷偶提示 | 有 | |
18 | 測溫元件 | K型鎧裝熱電偶 | |
19 | 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 | |
20 | 外形尺寸 | 1500*800*1300MM | |
21 | 整機(jī)功率 | 20kw； | |
22 | 電源參數(shù) | 380V 50Hz | |
真空與氣氛 | |||
1 | 抽真空能力 | 大氣到≤5Pa小于3min | |
2 | 氣壓范圍 | 10-3Pa～105Pa，機(jī)械泵極限≤5Pa | |
3 | 泄漏率 | ≤5-4（Pa*m3/s） | |
4 | 真空計范圍 | 大氣到10-4Pa，最大分辨率0.01Pa | |
氣路系統(tǒng) | |||
1 | 3路質(zhì)量流量計混合進(jìn)氣。 | ||
2 | 超壓保護(hù)（≥1atm），根據(jù)設(shè)定壓力值自動排氣 | ||
其它功能 | |||
1 | 溫度數(shù)據(jù)存儲 | 可存儲大于3個月的數(shù)據(jù) | |
2 | 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | U盤導(dǎo)出excel或csv格式 | |
3 | 工藝曲線 | 觸摸屏可顯示設(shè)定曲線預(yù)覽 | |