該產(chǎn)品主要適用于近空間升華法（CSS)制備太陽能電池薄膜，例如CdTe、CdS、Sb2S3、硒硫化銻（Sb2(S,Se)3）薄膜。亦可與我司多臺標準款CSS設備配套，單獨作為一臺基片快速退火爐。結(jié)構(gòu)上采用雙管結(jié)構(gòu)，外管直徑為110mm，一端封閉，內(nèi)管直徑為90mm，處理3英寸樣品。工藝氣氛從外管通入，內(nèi)管流出，使得氣氛更充分地與樣品接觸。通過爐膛左右移動實現(xiàn)快速升降溫。
結(jié)構(gòu)特點：
1. 爐膛內(nèi)采用上下兩層加熱結(jié)構(gòu)，分別負責襯底和源的加熱。加熱元件為雙絲鹵鎢紅外燈管。
2. 爐膛加熱到用戶設定的時間后自動移開，實現(xiàn)快速降溫。
3. 實驗完成后可將放料托架打開，將石英外管移動到左端，露出樣品可方便取放。
4. 7英寸觸摸屏操作，設定曲線實時顯示。
5. 本方案采用兩塊石墨板對樣品襯底和源進行分別均熱，上下層熱電偶探頭分別插入石墨板內(nèi)進行控溫，使得兩部分的溫度均勻性分別達到3℃以內(nèi)。
主要用戶：
四川大學、蘇州大學、龍焱能源科技（杭州）有限公司
技術(shù)指標：
項目 | 參數(shù) |
真空 | 極限真空度≤10-3Pa(需配分子泵機組） |
系統(tǒng)抽真空能力（大氣到10-2Pa）≤5min | |
真空獲取 | 采用分子泵機組真空系統(tǒng)達到≤10-3Pa， 或2L直聯(lián)旋片式機械泵達到≤10Pa |
真空計 | 皮拉尼高精度真空計（最低顯示1×10-3Pa） |
加熱方式 | 燈管紅外加熱 |
最高溫度 | 800℃ |
升溫速率 | 10℃/s |
降溫速率 | 1、可控降溫（軟件自動控制）；2、自然冷卻（移走加熱爐膛） |
溫控精度 | ≤±1℃ |
溫控方式 | 分區(qū)加熱，分區(qū)控溫。如圖所示，襯底加熱與源加熱分離，獨立控溫。石墨塊內(nèi)有測溫點，可監(jiān)控基板溫度。平臺三個部分可獨立移動。基板（實驗樣品）尺寸：3inch×3inch。 |
示意圖 |
1:Halogen tungsten lamp; 2:Quartz tube; 3:Upper graphite piece; 4:Below graphite piece; 5:Substrate; 6:CdS powder; 7:Thermocouple; 8:Sustain pole |
溫控系統(tǒng) | 可實現(xiàn)精確自動控溫，12段升降溫程序，預存100條以上曲線 |
測溫方式 | K型熱電偶 |
控溫點 | 2個（上下石墨勻熱板） |
恒溫區(qū) | 100mm（處理1片3inch×3inch基板） |
恒溫區(qū)爐溫均勻性 | ±3℃ |
溫度自動補償功能 | 溫控儀增加環(huán)境溫度自動補償功能 |
工藝氣氛 | O2,N2，干燥空氣，3路供氣（可實現(xiàn)氣氛不同比例混合） |
氣體控制 | O2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S. N2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S. 干燥空氣：0~1000sccm 精度：±1.0%F.S. |
冷卻循環(huán)水 | 連接法蘭（8mm寶塔接頭） |
樣品冷卻 | 爐膛自動移開，強制風冷 |
額定功率 | 220V,15kw |
外形尺寸 | 長920×深500×高560 |
