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河南弗萊爾儀器設(shè)備有限公司

真空自平衡系統(tǒng)

  • 真空自平衡系統(tǒng)
  • 真空自平衡系統(tǒng)

    型號(hào):
    VSB-828TD
    用途:
    精確穩(wěn)定真空腔體內(nèi)真空度,無(wú)論進(jìn)氣大小,始終讓腔體保持在用戶(hù)的設(shè)定真空度。
    規(guī)格:
    特點(diǎn):
    設(shè)定簡(jiǎn)單,200Pa以下真空穩(wěn)定度可以達(dá)到±1Pa


該型號(hào)為全自動(dòng)真空度平衡系統(tǒng),控制數(shù)學(xué)模型采用先進(jìn)PID自學(xué)習(xí)模糊控制,該型設(shè)備通過(guò)控制真空泵無(wú)極調(diào)速可以將真空度精準(zhǔn)地穩(wěn)定在±1Pa的精度。即使進(jìn)氣量有變化或者沒(méi)有進(jìn)氣的狀態(tài)下也能穩(wěn)定控制。


詳細(xì)參數(shù):


測(cè)量范圍

32KPa1Pa

7600.1Torr

測(cè)量精度

1Pa

0.1Torr

控制范圍

31.99KPa1Pa

750Torr0.1Torr

控制精度

±1Pa

±0.1Torr

真空泵抽速

8m3/h

真空計(jì)

皮拉尼真空計(jì)

準(zhǔn)確度(氮?dú)猓?/span>

5×1033.2×104Pa讀數(shù)的±50%

15.0×103Pa讀數(shù)的±30%

重復(fù)性:15×103Pa讀數(shù)的5%

功率

0.4Kw/380V