該型號(hào)為全自動(dòng)真空度平衡系統(tǒng)，控制數(shù)學(xué)模型采用先進(jìn)PID自學(xué)習(xí)模糊控制，該型設(shè)備通過(guò)控制真空泵無(wú)極調(diào)速可以將真空度精準(zhǔn)地穩(wěn)定在±1Pa的精度。即使進(jìn)氣量有變化或者沒(méi)有進(jìn)氣的狀態(tài)下也能穩(wěn)定控制。
詳細(xì)參數(shù)：
測(cè)量范圍 | 32KPa～1Pa | 760～0.1Torr |
測(cè)量精度 | 1Pa | 0.1Torr |
控制范圍 | 31.99KPa～1Pa | 750Torr～0.1Torr |
控制精度 | ±1Pa | ±0.1Torr |
真空泵抽速 | 8m3/h | |
真空計(jì) | 皮拉尼真空計(jì) | |
準(zhǔn)確度（氮?dú)猓?/span> | 5×103～3.2×104Pa讀數(shù)的±50% 1～5.0×103Pa讀數(shù)的±30% 重復(fù)性：1～5×103Pa讀數(shù)的5% | |
功率 | 0.4Kw/380V | |