此款設(shè)備采用了自主研發(fā)的智能AIO（All In One）控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了爐膛自動(dòng)左右移動(dòng)，紅外加熱方式使得樣品可以快速升溫，上下獨(dú)立加熱，實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源和沉積片不同的溫度差，采用石墨勻熱片可以將沉積石英片的溫度控制在±3℃以?xún)?nèi)。沉積后，爐膛可以移開(kāi)樣品加熱區(qū)，實(shí)現(xiàn)樣品的快速降溫。
選配的AIO智能控制系統(tǒng)不但實(shí)現(xiàn)了真空系統(tǒng)開(kāi)啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動(dòng)協(xié)調(diào)控制，而且還能自動(dòng)平衡爐管內(nèi)的壓力大小，真正實(shí)現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠。
主要特點(diǎn)
? 快速升溫20℃/S；
? 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻；
? 直接測(cè)量勻熱板溫度，測(cè)溫更精準(zhǔn)；
? 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動(dòng)左右移動(dòng)，可以滿(mǎn)足更多的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用；
? 數(shù)據(jù)可以實(shí)現(xiàn)電腦同步記錄和導(dǎo)出，生成溫度曲線(xiàn)。
主要用戶(hù)
四川大學(xué)、蘇州大學(xué)、龍焱能源科技（杭州）有限公司
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 近空間升華法制備CdS/CdTe薄膜設(shè)備 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | RTP-700B |
| 額定溫度 | 700℃ |
| 溫場(chǎng)均勻性 | ±3℃ |
| 爐膛升溫速率 | ≥20℃/S |
| 最快降溫速率 | ≥20℃/min |
| 操控系統(tǒng) | 智能AIO操作系統(tǒng) |
| 操作界面 | 7英寸觸摸屏 |
| 加熱方式 | 短波紅外線(xiàn)燈管加熱 |
| 加熱腔體結(jié)構(gòu) | 雙層石英管 |
| 外管直徑 | 100mm |
| 內(nèi)管直徑 | 80mm |
| 氣體保護(hù)方式 | 外管進(jìn)氣，內(nèi)管出氣 |
| 超溫保護(hù) | 溫度出現(xiàn)過(guò)高時(shí)切斷主回路 |
| 式樣有效空間 | 放置3.5英寸樣片，可定制更大尺寸 |
| 真空系統(tǒng) | 2L/S雙級(jí)聯(lián)真空系統(tǒng)（選配） |
| 整機(jī)真空度 | ≤5Pa（選配機(jī)械泵） |
| 抽氣端口尺寸 | KF16 |
| 供氣口尺寸 | Φ6雙卡套 |
| 法蘭冷卻方式 | 水冷（短時(shí)間無(wú)需水冷）（可選配水冷機(jī)） |
| 真空顯示 | 真空壓力表 |
| 額定功率 | 12kw |
| 外形尺寸 | 950*500*560mm |
| 重量 | 50kg |
| 配件 | 石英管堵1個(gè)，石墨坩堝、勻熱片一套，耐溫手套1雙，坩堝鉗1把，說(shuō)明書(shū)1本。 |
