該型號PECVD為整體精簡款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，觸摸屏集中一鍵控制，實驗證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。
主要特點：
1. 管內(nèi)真空度自動平衡——管內(nèi)真空度實時監(jiān)測，自動平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號PECVD的AIO控制系統(tǒng)會通過真空泵的自動啟停來維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度，使成膜效果達最佳的均勻性。
2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
3. 射頻功率的定時控制——預先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運行；
4. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離，在沉積結(jié)束后爐膛可自動移開沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；
5. 整機結(jié)構(gòu)融為一體——整機長度只有1.5米，移動方便，避免分散組裝的困擾。
加熱爐部分 | ||
| 1 | 爐膛模式 | 開啟式可移動爐膛 |
| 2 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 |
| 3 | 極限溫度 | 1200℃ |
| 4 | 工作溫度 | ≤1150℃ |
| 5 | 升溫速率 | 建議10℃/Min Max：30℃/Min |
| 6 | 爐體移動 | 有，速度可調(diào) |
| 7 | 單溫區(qū)長度 | 主溫區(qū)長度：200mm（可選配氣體預熱部分） |
| 8 | 爐管規(guī)格 | 60*1150 mm |
| 9 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 10 | 密封方式 | 快速法蘭密封 |
| 11 | 溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè) |
| 12 | 預存曲線 | 可預存15條溫度曲線 |
| 13 | 超溫報警 | 有 |
| 14 | 過流保護 | 有 |
| 15 | 斷偶提示 | 有 |
| 16 | 測溫元件 | K型熱電偶 |
| 17 | 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
| 18 | 外形尺寸 | 1500*600*1000MM |
| 射頻電源功率 | ||
| 1 | 信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 2 | 功率輸出范圍 | 5W-300W |
| 3 | 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
| 4 | 整機效率 | >=70% |
| 5 | 功率因素 | >=90% |
| 6 | 冷卻方式 | 強制風冷 |
| 真空部分 | ||
| 1 | 功率 | 500W |
| 2 | 抽氣速率 | 2Ls |
| 3 | 極限真空 | 4X10-2Pa |
| 氣路系統(tǒng) | ||
| 1 | 1～3路質(zhì)量流量計可選（七星華創(chuàng)） | |
| 2 | 準確度：±1.5% | |
| 3 | 重復精度：±0.2% | |
| 4 | 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa | |
| 整機系統(tǒng)特色 | ||
| 1 | 正壓測量 | -100Kpa---100Kpa |
| 2 | 真空測量 | 10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測量） |
| 3 | 正壓保護 | 支持 |
| 4 | 壓力恒定 | 支持 |
| 5 | 智能氣路 | 支持 |
| 6 | 氣路定時 | 支持 |
| 7 | 射頻工作時間設(shè)定 | 支持 |
| 8 | 移動速度調(diào)節(jié) | 支持 |