功能:
1. 對(duì)金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機(jī)污染物 (如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等)進(jìn)行超清洗。
2. 改變某些材料表面的性能。
3. 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性。
4. 清除金屬材料表面的氧化層。
優(yōu)點(diǎn):
1. 對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性。
2. 綠色環(huán)保、不使用化學(xué)溶劑、對(duì)樣品和環(huán)境無(wú)二次污染。
3. 在常溫條件下進(jìn)行超清洗,對(duì)樣品非破壞性處理。
應(yīng)用領(lǐng)域:
1. 光學(xué)器件、電子元件、半導(dǎo)體元件、激光器件、鍍膜基片、終端安裝等的超清洗。
2. 清洗光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。
3. 移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì),去除金屬材料表面的氧化物。
4. 清洗半導(dǎo)體元件、印刷線路板、ATR元件、人工晶體、天然晶體和寶石。
5. 清洗生物芯片、微流控芯片、沉積凝膠的基片。
6. 高分子材料表面的修飾。
7. 封裝領(lǐng)域中的清洗和改性,增強(qiáng)其粘附性,適用于直接封裝及粘和。
8. 改善粘接光學(xué)元件、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。
9. 涂覆鍍膜領(lǐng)域中對(duì)玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性,使其活化,增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性,顯著提高涂覆鍍膜質(zhì)量。
設(shè)備名稱 | 等離子清洗機(jī)(40khz) |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼 |
供電電源 | AC220V |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 0-300W、500W可調(diào) |
射頻頻率 | 40Khz(偏移量小于0.2KHz) |
頻率偏移量 | 小于0.2KHz |
特性阻抗 | 50歐姆,自動(dòng)匹配 |
真空度 | 1pa-30Pa |
氣體路數(shù) | 雙路氣體輸入 |
氣體流量 | 10—160ml/min(可調(diào)) |
過(guò)程控制 | PLC人機(jī)界面自動(dòng)與手動(dòng)方式 |
清洗時(shí)間 | 1-6000秒鐘可調(diào) |
功率大小 | 10%-100%可調(diào) |
內(nèi)腔尺寸 | 2L、5L、10L、15L |
外形尺寸 | 560×540×410mm |
真空泵 | 2XZ-2(抽速2L/S) |
真空室溫度 | ≤室溫+30°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |